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一文看懂索尼CMOS傳感器的歷代技術演進

來源:深圳市凱茉銳電子科技有限公司2025-06-04

1,背照式技術(Gen1架構(gòu))

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前照式的CMOS圖像傳感器中,當光經(jīng)過微透鏡和顏色過濾器后還要經(jīng)過金屬布線層,才能到達光電二極管處并開始累積光生電子。

在光電二極管的旁邊還有負責臨時存儲光生電子的區(qū)域,于是為了防止存儲區(qū)域中的電荷信號漏光便有了“遮光罩”的設計,而那些金屬布線層正是位于這個遮光罩的上面。

也就是說,由于這個遮光罩是一定要存在的,所以金屬布線層設計在其上面就可以充分利用像素內(nèi)之縱向空間,而這就是前照式結(jié)構(gòu)的優(yōu)點。

但是隨著2005年后,諾基亞和索尼愛立信都在手機鏡頭上互飆像素量,手機CMOS傳感器的總像素量就變得越來越高了。

于是在手機傳感器的底緩慢變大之情況下,像素尺寸就變得越來越小,這時候前照式結(jié)構(gòu)的缺點便開始顯現(xiàn)出來。

首先就是金屬布線層在受到光照時會產(chǎn)生反射現(xiàn)象,本來像素尺寸越小進光量就越小,有了光損后劣勢就更明顯了。

然后就是衍射這個棘手問題了,因為金屬布線層所覆蓋區(qū)域其比例是保持不變的,所以隨著像素尺寸的縮小光通道就會變得越來越窄。

當光通過的區(qū)域變小后衍射現(xiàn)象就會增強,最終這個衍射影響便會結(jié)合金屬布線層的反射影響,讓旁像素受到嚴重光串擾而使圖像中的顏色混合在一起。

而根據(jù)衍射計算公式可以知道(下圖所示),若要改善單個區(qū)域的衍射問題,就必須縮短微透鏡到光電二極管的距離。

此時若先在形成光電二極管的一側(cè)制作所有電路部分,然后將晶圓翻轉(zhuǎn)倒置在基板上,接著將上面硅層打薄再覆蓋彩色濾波片和微透鏡,于是便有了背照式結(jié)構(gòu)。

這樣其既可以消除前照式結(jié)構(gòu)中金屬布線層造成的衍射干擾,又能解決金屬布線層因反射而造成的光損問題,從而得以在同一大小像素條件下大幅提高量子效率和進光量!

另外由于金屬布線層被轉(zhuǎn)移到了背面,這樣就可以毫無顧忌地拓展電路規(guī)模,從而大幅提升傳感器的讀取速度——借此實現(xiàn)更高速的連拍和更高清的視頻錄制!

 

2,堆棧式技術(Gen2架構(gòu))

 

雖然背照式技術在2007年已由豪威對外展示了樣品,但真正將基于該技術產(chǎn)品量產(chǎn)的CIS廠家卻是索尼,只不過索尼先量產(chǎn)并商業(yè)化的都是一些相機傳感器。

所以最終率先在手機上應用這個技術的還是豪威傳感器,而其所對應的手機便是蘋果在2010年發(fā)布的一代傳奇型號 iPhone4。

但此時索尼的工程師們在公司CIS業(yè)務蓬勃發(fā)展的同時,還在開發(fā)事關制造成本的新工藝,最終經(jīng)歷了兩年開發(fā)歷程的業(yè)界首款堆棧式傳感器,便在2011年正式量產(chǎn)!

那么堆棧式技術,是怎么降低傳感器制造成本的呢?答案就是小型化。因為一片晶圓上能夠切出的產(chǎn)品數(shù)量越多,那么良率就越高,同時邊緣損耗也會因此而變少。

此外隨著手機影像的發(fā)展,其對于傳感器處理性能之需求也日漸增長——這樣就得增加處理回路的晶體管數(shù)量,簡而言之就是得提高制程,從而在同等面積內(nèi)容納更多的晶體管。

但尷尬的是與處理回路處于同一層的像素區(qū)域,對制程工藝卻并不“感冒”(與像素尺寸有關),這時若采用堆棧式工藝便可將像素層和電路層分開而避免此問題。

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此外,處理回路基于自身單層的“獨棟別墅”其規(guī)模便得到了大幅擴張!從而得以配置性能更強、功耗更低的圖像信號處理器以及配套電路,并實現(xiàn)硬件級HDR以及慢動作拍攝等功能。

這時候若不需要考慮成本向的小型化需求,那么分離出電路層的像素層便可在原處理回路區(qū)域種植更多像素,從而在像素尺寸不變的情況下實現(xiàn)“高畫質(zhì)”。

以上就是堆棧式技術,所帶來的多功能、小型化或高畫質(zhì)等特性;而且在堆棧式分離電路層的基礎上,由于像素層依然可以采用背照式技術,所以之前背照式的優(yōu)點也得以全部繼承!

 

3,進階版堆棧式技術

 

堆棧式技術的像素層與電路層方案,最初是采用硅通孔技術即 TSV 將兩層連接在一起,這個方案需要在像素層的三邊設置獨立的 TSV 連接層,也就是說小型化做得還不夠徹底。

于是在出貨量連年大增的情況下,索尼于2015年又業(yè)界首創(chuàng)了基于 Cu-Cu 連接(銅互聯(lián))之 DBI 混合鍵合技術,這樣就不再需要 TSV 連接層從而實現(xiàn)更進一步的小型化。

此外,這個技術還有更短的互聯(lián)距離和更高的互聯(lián)密度等優(yōu)勢,基于此便可提高傳感器的讀出速度。而且該技術無需針對每顆Die進行單獨互聯(lián),所以其生產(chǎn)效率也有飛躍式提升!

這個基于 DBI 混合鍵合的堆棧式技術就是索尼Gen3架構(gòu)了,后來于2018年索尼又在Gen3架構(gòu)的基礎上,展示了基于像素級銅互聯(lián)的像素直連技術——而這就是索尼的Gen5架構(gòu)。

Gen5架構(gòu)之所以能夠?qū)崿F(xiàn),皆是得益于 DBI 混合鍵合技術持續(xù)進步所帶來的銅互聯(lián)間距之不斷縮小,最終得以實現(xiàn)將像素層和電路層所需要的銅互聯(lián)連接端子直接嵌入硅片之中。

這樣便可實現(xiàn)上層任意一個像素都能和下層邏輯電路進行直接鍵合高速連接,并直接省去之前分布于四邊的銅互聯(lián)電路連接區(qū)域,于是便成就了最極致的傳感器高速化和小型化!

實際上在Gen5架構(gòu)出現(xiàn)之前的2017年,索尼還業(yè)界首發(fā)了基于三層堆棧式技術的Gen4架構(gòu),直接在傳感器中加入了容量高達1GB的DRAM層。

有了這個超大緩存載體的存在,那么就可將處理電路的層數(shù)增多以實現(xiàn)高速讀出,從而在拍攝高速運動物體時實現(xiàn)最小失真度的靜止圖像,并支持1080P的1000fps慢動作視頻拍攝。

不過Gen4架構(gòu)依然是 TSV 技術的產(chǎn)物,于是在2019年索尼又推出了基于 DBI 混合鍵合技術的三層堆棧式技術,這便是傳說中的Gen6架構(gòu)。

 

4,雙層晶體管技術

 

雖然上述的四種進階版堆棧式技術優(yōu)點很多,但其中唯一在手機端被堅持用下來的只有Gen3架構(gòu);例如蘋果2017年的iPhone8系列主攝傳感器,就開始引入該技術并一直沿用至今。

有趣的是,這些技術三星手機大部分都用過,只不過其另有圖謀。例如S7和S8時代的Gen3架構(gòu),S9、S10時代的Gen4架構(gòu),以及S20、S21時代的Gen6架構(gòu)。

這種合作的深度在業(yè)界十分罕見,因此索尼手機出貨量那么稀少結(jié)果卻能用上三星的M系列屏幕,基本就能解釋通了。不過三星后面卻只玩自己的傳感器,索尼瞬間成了“牛夫人”。

包括索尼在2021年尾開發(fā)成功的雙層晶體管技術,縱使國產(chǎn)手機品牌和蘋果手機都有零星采用,但三星依然不為所動,還是在頂級旗艦 S24 Ultra 上沿用其自家的旗艦傳感器HP2。

當然三星這么強勢也是有底氣的,因為其憑借自身的先進半導體工藝制造能力,不僅大力發(fā)展ISOCELL技術還在超高像素路線方面走得最遠,從而得以在傳感器技術領域自成一派。

不過索尼在傳感器技術領域之霸主地位還是不能撼動的,例如其最新的雙層晶體管技術就是基于堆棧式理念而開發(fā)的指引未來之作,只可惜因為良率低和成本高而暫時難以普及。

至于雙層晶體管的技術原理其實就是針對像素層的又一次分層堆棧,將原先和光電二極管、傳輸晶體管同一層的三種像素晶體管單獨分離出來,從而順利實現(xiàn)分層結(jié)構(gòu)優(yōu)化。

其中,光電二極管層在更充??臻g基礎上可大幅拓展光子容量,并同比例拓展傳輸晶體管的傳輸效率和浮置單元的滿阱容量,簡單說就是擴大了代表可成像的明暗差范圍之動態(tài)范圍。

同時,像素晶體管層的放大晶體管基于分層后之充??臻g尺寸也得以做大,這樣經(jīng)其讀出的轉(zhuǎn)換增益值便可得到更上一層樓的放大效益,從而顯著減少暗光環(huán)境下產(chǎn)生的噪點。

以首發(fā)雙層晶體管技術的索尼IMX888(亦名為LYT-T808)為例,其像素四合一滿阱容量就高達40000e!而一英寸的IMX989其像素四合一滿阱容量也就48000e而已。

也就是說,IMX888以僅為IMX989一半的像素尺寸,就實現(xiàn)了后者83%的滿阱容量!結(jié)合提升非常顯著的前端降噪能力,在底沒增大的基礎上進一步挖掘出了縱向堆棧的巨大潛力。

另外從IMX888的橫截面透視圖中可以看出,連接電路層所基于的還是Gen3架構(gòu)之 DBI 混合鍵合技術,但連接光電二極管層和像素晶體管層所基于的卻是 TSV 技術。

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